英语缩写FIM（Field Ion Microscopy）种研究金属表面的技木。符测金属制成针尖状，置士氦原子（或其他情性气体原子）气氛中。针尖与观祭屏间施加10千伏量级的电压，则金属针尖表面形成强电场而使吸附其上的氦原子电离成正离子，正离子又在强电场作用下飞向观察屏而在其上产生影像。影像即为针尖表面的放大像，故称此设备为“场离子显微镜”。其放大倍数可达百万倍，分辨本领可达0.1纳米量级。场离子显微镜亦可用来观察针尖表面原子级的动态过程。如名针尖电压高到本身的金属原子电离发射，便可用质谱仪分析鉴定针尖表面的化学成分，
