拼音：fēnzǐshùwàiyán

能十分精确地控制材料生长速率和成分的一种外延方法。在超高真空室中将材料放在喷射炉内加热，使之开华而通过喷射炉上一个小口喷出，形成一束分子流射到衬底表面并淀积其上形成外延层。其特点是：（1）生长速率极慢，为0.1～1纳米/秒，因而可以生长极薄而厚度均匀的外延层，实际上是一种原子级的加工技术；（2）外延生长的温度低，可以避免衬底与外延层间的原子扩散，同时又可避免通常在高温下产生的热缺陷：（3）由于生长在超高真空室中进行，衬底表面经过处理可成为完全清洁的，在外延过程中又可避免沾污，因而能生长出质量极好的外延层

类型：百科

来源：《辞海》（第七版）